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h-square低接觸晶圓傳輸機-全自動LCT2特征

更新時間:2023-12-02      瀏覽次數(shù):464

產(chǎn)品 

描述 

桌上型、自動化、高價值的薄片晶圓和化合物晶圓轉(zhuǎn)移工具。 先進的低接觸晶圓傳輸機(LCT)可提供最潔凈、可靠和快速的晶圓傳輸方式,

無論是一般標(biāo)準(zhǔn)晶圓或是易碎晶圓都可在的方式下在兩個料盒之間傳輸。高可靠性和低維護成本。小體積的設(shè)計節(jié)省了寶貴的潔凈室空間。

LCT2具有觸摸屏控制,聚偏二氟乙烯涂層桿,料盒門和晶圓檢測功能。



 


LCT2 特點: 


觸摸屏控制

支撐桿采用PVDF 涂層,一次傳輸 25 個晶圓

料盒門存在檢測

料盒和工具中晶圓存在檢測

規(guī)格

晶圓尺寸76, 100, 150, 200mm 

電源要求220VAC 至 24VDC 3 安培電源單獨出售

產(chǎn)品尺寸10"寬 30"長 16"高

重量40磅


附加信息

裝運重量95磅

裝運尺寸16 × 36 × 24 英寸


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